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德国叠谤耻办别谤/布鲁克 触针式轮廓仪Dektak Pro

德国叠谤耻办别谤/布鲁克 触针式轮廓仪Dektak Pro

德国布鲁克（Bruker）推出的触针式轮廓仪Dektak Pro，是第十一代Dektak®系统的代表产物，专为纳米级表面形貌测量设计，广泛应用于微电子、半导体、太阳能、LED、触摸屏、医疗及材料科学等领域。该仪器以其高精度、高重复性和易用性，成为表面轮廓测量的行业选择。

Dektak Pro的核心优势在于其测量性能。其台阶高度重复性优于4埃（?），在1微米台阶高度标准上实现这一精度，确保数据可靠性。垂直分辨率可达1埃（@6.55微米范围），覆盖1纳米至1毫米的台阶高度测量范围，满足从纳米到毫米级的形貌分析需求。仪器采用单拱形龙门式设计，有效降低环境振动和噪声干扰，提升扫描稳定性；直驱扫描平台技术缩短测量时间，同时保持高分辨率和低噪声，加速3D形貌或长轮廓扫描的数据获取。

在硬件配置上，Dektak Pro提供多种探针选项，针尖半径从50纳米到25微米可选，并支持高径比（HAR）针尖（如200微米×20微米），适应深沟渠测量。探针压力范围灵活，标准模式下为1至15毫克，N-Lite+低力模式下可低至0.03毫克，减少对脆弱样品的损伤。样品台支持手动或电动XY载物台，最大可容纳200毫米（8英寸）晶圆，并配备编码器实现高精度自动数据收集。

软件方面，Dektak Pro搭载Vision64® 64位并行处理软件，支持快速数据处理和自动化分析。其智能算法简化台阶高度计算，减少用户操作误差，提升数据一致性。软件还提供3D形貌建模、多区域分析、滤波器加速等功能，并支持序列编程和图形识别定位，提升测试效率。

此外，Dektak Pro注重用户体验，采用自对准探头夹具设计，探针更换耗时不到一分钟，且无需重新校准。双摄像头系统增强空间感知能力，实时视频辅助定位，简化测量设置。该仪器已在全球数百个生产、研究和故障分析中心广泛应用，成为精密计量领域的重要工具。