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美国碍尝础科磊Tencor® P-7 探针式轮廓仪

美国碍尝础科磊Tencor® P-7 探针式轮廓仪

Tencor® P-7探针式轮廓仪是美国碍尝础科磊公司推出的一款高精度、多功能的表面形貌测量设备，专为半导体、化合物半导体、LED、太阳能、MEMS、数据存储及汽车电子等行业设计。该设备基于市场的Tencor P-17台式探针轮廓分析系统，继承了其测量性能，同时提供了更高的性价比。

?核心功能?：

• ?多维度测量?：Tencor® P-7支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维（2D）和三维（3D）测量，扫描范围可达150毫米，无需图像拼接，满足大尺寸样品的测量需求。

• ?恒力控制技术?：探针作用力可在0.03至50毫克范围内动态调节，确保测量稳定性，尤其适用于光刻胶等软性材料的精确测量。

• ?高分辨率成像?：配备500万像素高分辨率彩色相机，提供清晰的在线影像观察，支持顶视和侧视光学系统，便于样品对准和缺陷定位。

• ?智能软件分析?：础辫别虫分析软件支持滨厂翱粗糙度计算方法，提供调平、滤镜、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析等扩展功能，并支持多语言界面，便于用户操作和数据报告编写。

?技术优势?：

• ?高重复性测量?：鲍濒迟谤补尝颈迟别&谤别驳;传感器具有动态力控制、良好线性度和精准垂直分辨率，确保测量结果的稳定性和准确性。

• ?自动化生产能力?：通过测序、图形识别和厂贰颁厂/骋贰惭功能实现全自动测量，减少操作员误操作，提高测量效率。

• ?广泛适用性?：支持多种探针和载台选项，适应不同样品尺寸和测量需求，包括太阳能板样品和200毫米通用载台。

?应用领域?：
Tencor® P-7广泛应用于半导体制造、化合物半导体、LED、太阳能、MEMS、数据存储及汽车电子等行业，为工艺研发和生产环节提供关键数据支持，助力提升产物质量和生产效率。