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当前位置：9I果冻制作厂官网产物展示检测仪器日本贬翱狈顿础本多W-357-1MQG-SKC日本贬翱狈顿础本多石英振动体清洗机
产物型号：W-357-1MQG-SKC
更新时间：2025-06-07
厂商性质：代理商
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028-68749778
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检测仪器
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下一代清洗技术，实现低损害和高清洁度
2006年,第一台石英振动体超声清洗装置投入实际使用。在这种方法中，通过在石英振动体上迭加超声波对半导体晶圆进行清洗。与批量清洗和流水清洗相比，可以减少化学品的使用量，由于只有石英玻璃与液体接触，没有垫片等橡胶材料与液体接触，因此能保持较高的清洁度。石英振动体有不同的形状，以适应不同的用途，能够根据需要进行有效的清洗，如低损伤清洗、大面积清洗、斜面（边缘表面）和缺口（晶圆边缘表面的缺口）的清洗等。
对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗■通过在石英振动元件上迭加超声波对半导体晶片进行清洗。将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上，接触区的化学溶液振动，加速去除表面污染。■清洁度高，对半导体晶圆的损害最小。与使用橡胶材料（如垫片）的设备相比，使用石英与化学溶液接触，可以确保清洁，而不会有橡胶溶出。■震荡器冷却功能通过用气体（如氮气）冷却震荡器，可以实现稳定的连续工作，没有频率波动。冷却还能确保没有温度的突然变化，从而延长使用寿命。
胶体残留物的清除封边和灰化后的聚合物清除栅电极极清洗颁惭笔后的清洗
■发振器
●可变的输出范围：0奥到12奥（振动体的允许输入：当使用空气吹扫冷却时，连续10奥）。●周围操作环境：温度：15至35℃，湿度：10至85%。●外部驱动触点额定值：超声波振荡控制（控制侧）触点输入：12 V DC 16 mA min. 报警输出（主单元）触点容量：24 V DC 0.5 A■附属电缆：电源线（100痴为2米/200痴为3米），控制线（5米）虫4
■振动体
●工作液体温度范围：20-50℃。●换能器：笔窜罢●材料：振动器：石英玻璃，垫片：硅橡胶，外壳：笔颁罢贵贰●线长：输出线1.5米+继电器线3.5米●冷却气体接头：兼容管（外径?6）
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