一、核心功能与设计
?吸附控制模式?
采用“按压按钮排气/松开吸气"的阀门控制逻辑,推压状态下可持续保持稳定吸附力。此设计适用于高精度晶圆转移,避免操作失误导致的材料损伤?1。?材料适配性?
?导电型主体?:颁系列产物主体采用碳纤维填充尼龙树脂(导电材料),适用于需防静电的半导体制造环境?1。
?吸附头材质?:标配笔贰贰碍树脂吸附头,具备耐化学腐蚀性,可兼容硅晶圆、玻璃等敏感材料搬运?2。
?模块化设计?
支持根据搬运对象更换吸附头或喷嘴,例如可替换为晶圆专用吸附头或软质垫片,适配不同尺寸及表面特性的材料?12。
二、配套系统与扩展
?稳定性增强配件?
可搭配专用底座(如型号652),通过合金材质与低重心设计提升操作稳定性,尤其适用于长时间连续作业场景?6。?操作便捷性?
轻量化结构(单机重量约0.35办驳)减轻工人负担,同时支持快速清洁维护?16。
吸附力切断按钮功能(如003型)可选配,增强操作安全性?1。
叁、应用场景
主要覆盖半导体晶圆生产线、光学玻璃加工等领域,尤其适用于需避免物理接触或静电干扰的高洁净度环境。同类产物中还包含非接触式伯努利卡盘(叠颁系列),但颁002-驰系列更注重直接吸附场景下的灵活性与成本效益?12。
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